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一种ICP-MS真空测量系统的研制

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质谱计离子源静电透镜的模拟计算

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  • 动态流导法校准真空计的方法

    动态流导法有时也称为动态流量法和小孔法校准，其校准下限随真空获得和小流量测量水平而延伸。是目前超高真空和极高真空的切实可行的校准方法。

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    膨胀法校准是基于波意耳定律，即在恒定的温度下，一定质量的气体的压力与体积之积为一常数。首先将气源室中充有需要压力为p1的校准气体，由标准真空计G2测量。

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  • 真空计校方法准概述

    “真空计校准”就是对相对真空计进行“刻度”。真空计刻度是在一定条件下对一定种类气体进行的，从而得到校准系数或刻度曲线。

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    为了测量真空中混合气体组分和相应的分压力值，必须进行分压力测量，所用的仪器称为分压力真空计，分压力真空计是专用的小型质谱仪器——真空质谱计。

  • 放射性电离真空计的工作原理图

    利用放射性同位素辐射出来的α粒子或α粒子对气体分子的电离作用制成的真空计称为放射性电离真空计，放射性电离真空计由放射性电离规管和测量仪器两部分组成。

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  • 冷阴极电离真空计的工作原理图

    冷阴极电离真空计是一种相对真空计。它由规管和测量电路两部分组成。冷阴极电离真空计是靠冷发射(场致发射、光电发射、气体被宇宙射线电离等)所产生的少量初始自

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  • 热传导真空计的工作原理图

    热传导真空计是根据在低压力下，气体分子热传导与压力有关的原理制成的。根据不同的测温原理课分为膨胀式真空计、热偶真空计、电阻真空计三种。

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    压缩式真空计是对U型管真空计的重大改进，它是依据理想气体的波义耳定律制成的。由于它首先是由麦克劳提出的，故此种真空计又称为麦克劳真空计(简称麦氏计)。

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    利用弹性元件在压差作用下产生弹性变形的原理制成的真空测量仪表称为弹性元件真空表。根据变形弹性元件分类，这类真空计通常有弹簧管式、膜盒式和膜片式。

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